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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：烘箱

  • 產(chǎn)品型號：YES　HMDS
  • 產(chǎn)品廠商：其它品牌
  • 產(chǎn)品價格：0
  • 折扣價格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
烘箱適用范圍 烘箱主要用戶半導(dǎo)體光刻工藝中硅片表面改性；增加光刻膠對硅片的黏附性。
詳情介紹：

YES　HMDS 烘箱

產(chǎn)品簡介

烘箱主要用戶半導(dǎo)體光刻工藝中硅片表面改性；增加光刻膠對硅片的黏附性。


技術(shù)參數(shù)

基片尺寸：支持2、3、4、6、8英寸基片及破片

溫度范圍：RT～160℃

溫度精度：＋/-1℃@100℃

加熱時間：30min @RT~160℃

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